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MEMS thermal gas flow sensor with self-test function 期刊论文
JOURNAL OF MICROMECHANICS AND MICROENGINEERING, 2019, 卷号: 29, 期号: 12
作者:  Ke, Wenjian;  Liu, Meng;  Li, Tie;  Wang, Yuelin
Adobe PDF(3125Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：453/12  |  提交时间：2019/12/31
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