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研究单元&专题
信息科学与技术学院 [1]
作者
张晓蕾 [1]
文献类型
期刊论文 [1]
发表日期
2022 [1]
出处
SCIENCE CH... [1]
语种
英语 [1]
资助项目
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收录类别
EI [1]
SCIE [1]
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WOS被引频次升序
WOS被引频次降序
Efficient heterogeneous integration of InP/Si and GaSb/Si templates with ultra-smooth surfaces
期刊论文
SCIENCE CHINA INFORMATION SCIENCES, 2022, 卷号: 65, 期号: 8
作者:
Jin, Tingting
;
Lin, Jiajie
;
You, Tiangui
;
Zhang, Xiaolei
;
Liang, Hao
Adobe PDF(2696Kb)
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浏览/下载:118/0
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提交时间:2022/07/25
Chemical mechanical polishing
Etching
Gallium compounds
III-V semiconductors
Infrared devices
Integration
Molecular beam epitaxy
Optoelectronic devices
Semiconducting indium phosphide
Silicon
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Chemical etching
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InP/si
Ion slicing
Ion-slicing technique
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