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Low cost thin film encapsulation for AlN resonators 会议论文
2018 IEEE MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS (MEMS), Belfast, 21-25 Jan. 2018
作者:  Wu, Tao;  Qian, Zhenyun;  Rinaldi, Matteo
Adobe PDF(1124Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：717/12  |  提交时间：2018/06/13
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