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Impact of Aperture on the Performance of AlN Lamb Wave Resonators on SOI substrate
会议论文
17TH IEEE INTERNATIONAL CONFERENCE ON NANO/MICRO ENGINEERED AND MOLECULAR SYSTEMS, NEMS 2022, Virtual, Online, Taiwan, April 14, 2022 - April 17, 2022
作者:
Zhihao Li
;
Yunping Niu
;
Hao Ren
Adobe PDF(1641Kb)
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收藏
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浏览/下载:197/0
|
提交时间:2022/07/29
Electromechanical coupling
III-V semiconductors
Mechanics
MEMS
Resonators
Surface waves
Ultrasonic waves
Admittance parameters
Electromechanical coupling coefficients
Element models
Fabricated device
Lamb wave resonators
Modeling simulation
Performance
Quality factor Q
Resonance characteristic
SOI substrates
Influence of Electrode Duty Factor on the Performance of Lamb-Wave AlN Resonators on SOI Substrate
会议论文
17TH IEEE INTERNATIONAL CONFERENCE ON NANO/MICRO ENGINEERED AND MOLECULAR SYSTEMS, NEMS 2022, Virtual, Online, Taiwan, April 14, 2022 - April 17, 2022
作者:
Haichao Cao
;
Hao Ren
Adobe PDF(2426Kb)
|
收藏
|
浏览/下载:229/2
|
提交时间:2022/07/29
Aluminum nitride
Electrodes
Electromechanical coupling
III-V semiconductors
Mechanics
MEMS
Resonators
Ultrasonic waves
AlN resonators
Butterworth van dyke models
Electromechanical coupling coefficients
High quality factors
Lamb wave resonators
Mode resonators
Performance
Provide guidances
Quality factors
SOI substrates
30 GHz GeSn photodetector on SOI substrate for 2 mu m wavelength application
期刊论文
PHOTONICS RESEARCH, 2021, 卷号: 9, 期号: 4, 页码: 494-500
作者:
Li, Xiuli
;
Peng, Linzhi
;
Liu, Zhi
;
Zhou, Zhiqi
;
Zheng, Jun
Adobe PDF(2776Kb)
|
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提交时间:2021/05/14
Dark currents
Optical communication
Photons
Semiconductor alloys
Silicon on insulator technology
Substrates
3 dB bandwidth
DC and RF characteristics
Germanium tins
Normal incidence
Responsivity
Silicon
on
insulator substrates
SOI substrates
Wavelength ranges
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