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ALScN Lamb Wave Resonator Based on NbN Superconducting Electrode at Cryogenic Temperature 会议论文
2025 IEEE 38TH INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS (MEMS), Kaohsiung, Taiwan, 19-23 Jan. 2025
作者:  Wenzhen Li;  Xuankai Xu;  Jiawei Li;  Peng Dong;  Yiwei Wang
Adobe PDF(2134Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：75/6  |  提交时间：2025/03/25
High Q-Factor and Mode-Matching Disk Ring Gyroscope Using (100) Single Crystal Silicon 会议论文
2024 IEEE INTERNATIONAL SYMPOSIUM ON INERTIAL SENSORS AND SYSTEMS (INERTIAL), Hiroshima, Japan, 25-28 March 2024
作者:  Tiantian Wang;  Congchen Wang;  Junying Yang;  Jianlin Chen;  Fang Chen
Adobe PDF(2200Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：266/1  |  提交时间：2024/05/17
Optimization and Fabrication of an MOEMS Gyroscope Based on a WGM Resonator 期刊论文
SENSORS, 2020, 卷号: 20, 期号: 24
作者:  Xia, Dunzhu;  Zhang, Bing;  Wu, Hao;  Wu, Tao
Adobe PDF(8127Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：1102/358  |  提交时间：2021/01/26
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