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Computational Study of Organotin Oxide Systems for Extreme Ultraviolet Photoresist 期刊论文
JOURNAL OF PHYSICAL CHEMISTRY A, 2025, 卷号: 129, 期号: 5, 页码: 1420-1428
作者:  Li, Jingbin;  Wang, Zhefeng;  Wang, Han
Adobe PDF(3285Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：42/4  |  提交时间：2025/02/12
A comprehensive study on three typical photoacid generators using photoelectron spectroscopy and ab initio calculations 期刊论文
JOURNAL OF CHEMICAL PHYSICS, 2024, 卷号: 161, 期号: 5
作者:  Jiang, Yanrong;  Cao, Wenjin;  Hu, Zhubin;  Yue, Zhongyao;  Bai, Chunyuan
Adobe PDF(5605Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：363/3  |  提交时间：2024/08/23
Progress on ultrafast laser lithography of large-scale lithium niobate integrated photonics 期刊论文
KEXUE TONGBAO/CHINESE SCIENCE BULLETIN, 2024, 卷号: 69, 期号: 12, 页码: 1528-1539
作者:  Huang, Jinxin;  Chen, Jinming;  Liu, Zhaoxiang;  Song, Lvbin;  Wang, Guanhua
Adobe PDF(6394Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：350/0  |  提交时间：2024/05/11
Characterization of AlN and AlScN film ICP etching for micro/ nano fabrication 期刊论文
MICROELECTRONIC ENGINEERING, 2021, 卷号: 242
作者:  Luo, Zhifang;  Shao, Shuai;  Wu, Tao
Adobe PDF(3189Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：435/0  |  提交时间：2021/06/04
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