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A miniaturized MEMS accelerometer with anti-spring mechanism for enhancing sensitivity
期刊论文
MICROSYSTEMS & NANOENGINEERING, 2025, 卷号: 11, 期号: 1
作者:
Xiong, Ruihong
;
Xu, Xuankai
;
Liu, Yushuai
;
Du, Shihao
;
Jin, Lihui
Adobe PDF(2020Kb)
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浏览/下载：59/5
|
提交时间：2025/03/18
Sensitivity analysis
Springs (components)
Bias instability
Curved beams
Force and displacements
MEMS accelerometer
Noise floor
Noise performance
Parallel configuration
Performance
Softening effect
Spring mechanism
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