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研究单元&专题
信息科学与技术学院 [1]
作者
李昕欣 [1]
吴涛 [1]
吴声 [1]
王运豪 [1]
文献类型
期刊论文 [1]
发表日期
2024 [1]
出处
MICROMACHI... [1]
语种
英语 [1]
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资助机构
收录类别
EI [1]
SCI [1]
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Piezoelectric Micromachined Ultrasonic Transducers with Micro-Hole Inter-Etch and Sealing Process on (111) Silicon Wafer
期刊论文
MICROMACHINES, 2024, 卷号: 15, 期号: 4
作者:
Wang, Yunhao
;
Wu, Sheng
;
Wang, Wenjing
;
Wu, Tao
;
Li, Xinxin
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浏览/下载：421/52
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提交时间：2024/05/11
Aluminum nitride
Anisotropic etching
Anisotropy
Corrosion
Cost effectiveness
Diaphragms
Electrodes
Fabrication
III-V semiconductors
Natural frequencies
Piezoelectricity
Silicon wafers
Ultrasonic applications
(111) wafer
Anisotropic wet etching
Cavity structure
Micro holes
Micromachined ultrasound transducers
Piezoelectric
Piezoelectric micromachined ultrasound transducer array
The scar-free 'MIS' process
Three-fold symmetry
Ultrasound transducer arrays
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