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An One-port A2 Mode AlN Lamb Wave Resonator Based on SOI Substrate 会议论文
18TH INTERNATIONAL CONFERENCE ON NANO/MICRO ENGINEERED AND MOLECULAR SYSTEMS, NEMS 2023, Jeju, Korea, May 14, 2023 - May 17, 2023
作者:  Xianzheng Lu;  Hao Ren
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Double-Deck Metal Solenoids 3D Integrated in Silicon Wafer for Kinetic Energy Harvester 期刊论文
MICROMACHINES, 2021, 卷号: 12, 期号: 1, 页码: #VALUE!
作者:  Wang, Nianying;  Han, Ruofeng;  Chen, Changnan;  Gu, Jiebin;  Li, Xinxin
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