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Temperature Characteristics of a Contour Mode MEMS AlN Piezoelectric Ring Resonator on SOI Substrate 期刊论文
MICROMACHINES, 2021, 卷号: 12, 期号: 2, 页码: #VALUE!
作者:  
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Wide Bandwidth Lorentz-Force Magnetometer Based on Lateral Overtone Bulk Acoustic Resonator 会议论文
PROCEEDINGS OF THE IEEE INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS (MEMS), Virtual, Gainesville, FL, United states, January 25, 2021 - January 29, 2021
作者:  Shuai Shao;  Anming Gao;  Yuxi Wang;  Tao Wu
Adobe PDF(1763Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：478/2  |  提交时间：2021/12/03
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