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研究单元&专题
信息科学与技术学院 [2]
作者
吴涛 [1]
卢宪正 [1]
吴进波 [1]
任豪 [1]
文献类型
会议论文 [2]
发表日期
2023 [1]
2022 [1]
出处
18TH INTER... [1]
IEEE SYMPO... [1]
语种
英语 [2]
资助项目
National K... [1]
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An One-port A2 Mode AlN Lamb Wave Resonator Based on SOI Substrate
会议论文
18TH INTERNATIONAL CONFERENCE ON NANO/MICRO ENGINEERED AND MOLECULAR SYSTEMS, NEMS 2023, Jeju, Korea, May 14, 2023 - May 17, 2023
作者:
Xianzheng Lu
;
Hao Ren
Adobe PDF(549Kb)
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浏览/下载:385/0
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提交时间:2023/09/08
Electromechanical coupling
Electromechanical devices
III-V semiconductors
MEMS
Natural frequencies
Resonators
Silicon on insulator technology
Substrates
Surface waves
Ultrasonic waves
Wave propagation
AlN resonators
Bottom layers
Heavily doped silicons
Lamb wave resonators
MEMS (microelectromechanical system)
Micro-electro-mechanical system
Mode-based
Quality factors
Second orders
Silicon-on-insulator substrates
Monolithic Integration of Released and Solidly Mounted RF Acoustic Devices on Heterogeneous Substrate
会议论文
IEEE SYMPOSIUM ON MASS STORAGE SYSTEMS AND TECHNOLOGIES, Tokyo, Japan, January 9, 2022 - January 13, 2022
作者:
Wu, Jinbo
;
Zhang, Shibin
;
Zhou, Hongyan
;
Zhang, Liping
;
Zheng, Pengcheng
Adobe PDF(3105Kb)
|
收藏
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浏览/下载:486/1
|
提交时间:2022/04/08
Acoustic resonators
Acoustic surface wave filters
Bandwidth
Electromechanical coupling
Integration
MEMS
Monolithic integrated circuits
Substrates
Surface waves
Acoustic filters
Effective electro-mechanical coupling coefficients
Heterogeneous substrates
Hybrid acoustic device
Lamb wave devices
Linbo3-on-silicon
Monolithic integration
Rayleigh mode
Silicon substrates
Surface acoustic wave resonators
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