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研究单元&专题
物质科学与技术学院 [1]
作者
戚乘航 [1]
文献类型
期刊论文 [1]
发表日期
2023 [1]
出处
NUCLEAR SC... [1]
语种
英语 [1]
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Latest developments in EUV photoresist evaluation capability at Shanghai Synchrotron Radiation Facility
期刊论文
NUCLEAR SCIENCE AND TECHNIQUES, 2023, 卷号: 34, 期号: 12
作者:
Li, Zhen-Jiang
;
Qi, Cheng-Hang
;
Li, Bei-Ning
;
Yang, Shu-Min
;
Zhao, Jun
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提交时间：2023/12/22
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Electron beam lithography
Electron beams
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Hydrogen
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