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Influence of radio frequency magnetron sputtering parameters on the structure and performance of SiC films 期刊论文
CERAMICS INTERNATIONAL, 2021, 卷号: 47, 期号: 17, 页码: 24098-24105
作者:  Liu, Meng;  Yang, Yong;  Mao, Quan;  Wei, Yuquan
Adobe PDF(9022Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：484/0  |  提交时间：2021/08/16
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