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物质科学与技术学院 [1]
作者
覃振桉 [1]
文献类型
期刊论文 [1]
发表日期
2024 [1]
出处
OPTICS LET... [1]
语种
英语 [1]
资助项目
Guang''an ... [1]
National N... [1]
null[2021G... [1]
资助机构
收录类别
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SCI [1]
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Large-range two-dimensional sub-nano-misalignment sensing for lithography with a piecewise frequency regression network
期刊论文
OPTICS LETTERS, 2024, 卷号: 49, 期号: 6, 页码: 1485-1488
作者:
Wang, Nan
;
Li, Yi
;
Jiang, Wei
;
Qin, Zhen'an
;
Liu, Jun
Adobe PDF(3403Kb)
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浏览/下载：247/2
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提交时间：2024/04/12
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Complex phasis
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Frequency filtering
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