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信息科学与技术学院 [1]

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The Effect of Defect Charge and Parasitic Surface Conductance on Aluminum Nitride RF Filter Circuit Loss 期刊论文
MICROMACHINES, 2023, 卷号: 14, 期号: 3
作者: Xu, Tian; Zou, Yali; Huang, Xuan; Wu, Junmin; Wu, Shihao

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收藏 | 浏览/下载：948/375 | 提交时间：2023/04/28

Conductive films III-V semiconductors Polycrystalline materials Polysilicon Silicon compounds Substrates Thin films Timing circuits Circuit loss CPW Filter circuits High resistance Parasitic surface conduction Parasitics Radio-frequency filters Radio-frequency loss Surface conductance Trap rich

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