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2024 [1]
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2024 IEEE ... [1]
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Angle-Dependent In-Plane Magnetic Field Detection by MEMS Resonant Sensor
会议论文
2024 IEEE INTERNATIONAL MAGNETIC CONFERENCE - SHORT PAPERS (INTERMAG SHORT PAPERS), Rio de Janeiro, Brazil, 5-10 May 2024
作者:
Yuxi Wang
;
Mingye DU
;
Jiawei Li
;
Daozheng Luo
;
Tao Wu
Adobe PDF(442Kb)
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浏览/下载：358/2
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提交时间：2024/07/08
Aluminum nitride
III-V semiconductors
Magnetic domains
Magnetic sensors
Magnetometers
MEMS
Natural frequencies
Resonators
Angle-dependent
Domain
Easy axis
Field detections
In-plane magnetic fields
Magnetic fields sensors
Magnetic-field
MEMS resonant sensors
MEMS resonators
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