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Computational Study of Organotin Oxide Systems for Extreme Ultraviolet Photoresist 期刊论文
JOURNAL OF PHYSICAL CHEMISTRY A, 2025, 卷号: 129, 期号: 5, 页码: 1420-1428
作者:  Li, Jingbin;  Wang, Zhefeng;  Wang, Han
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Latest developments in EUV photoresist evaluation capability at Shanghai Synchrotron Radiation Facility 期刊论文
NUCLEAR SCIENCE AND TECHNIQUES, 2023, 卷号: 34, 期号: 12
作者:  Li, Zhen-Jiang;  Qi, Cheng-Hang;  Li, Bei-Ning;  Yang, Shu-Min;  Zhao, Jun
Adobe PDF(2516Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：237/1  |  提交时间：2023/12/22
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