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Precision fabrication of diamond micro-optic elements with hybrid SiO2/Cr etching masks 期刊论文
MICROELECTRONIC ENGINEERING, 2022, 卷号: 262
作者:  Yang, Zhiqi;  Zhu, Ruixue;  Zhang, Kaiyu;  Yang, Xiaowei;  Liu, Xing
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Fabrication of none-opposite-deposited micro-structure on diamond with the SiO2/Cr bilayer mask 会议论文
PROCEEDINGS OF SPIE - THE INTERNATIONAL SOCIETY FOR OPTICAL ENGINEERING, Shanghai, China, October 28, 2021 - October 31, 2021
作者:  Yang, Zhiqi;  Liu, Xing;  Weng, Tsu-Chien
Adobe PDF(38080Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：318/0  |  提交时间：2022/03/11
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