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Understanding the mechanism of plasma etching of carbon-doped GeSbTe phase change material
期刊论文
APPLIED SURFACE SCIENCE, 2024, 卷号: 671
作者:
Liu, Jin
;
Zhang, Jiarui
;
Wan, Ziqi
;
Chen, Yuqing
;
Zheng, Jia
Adobe PDF(2695Kb)
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浏览/下载:485/5
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提交时间:2024/08/09
Antimony compounds
Bromine compounds
Cleaning
Germanium compounds
Oxygen
Phase change memory
Tellurium compounds
300 mm wafers
Carbon-doped gesbte
Chemical damages
Cleaning process
Etching damages
High temperature process
Phase-change memory
Physical damages
Pitch line
Thermal crosstalk
Electron spin resonance study on free radicals in cyclic olefin copolymers irradiated by gamma rays at cryogenic and room temperatures
期刊论文
RADIATION PHYSICS AND CHEMISTRY, 2023, 卷号: 202
作者:
Zhang, Fan
;
Ji, Zhenyan
;
Zhang, Qiang
;
Shen, Rongfang
;
Xing, Zhe
Adobe PDF(6245Kb)
|
收藏
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浏览/下载:358/1
|
提交时间:2022/10/14
Electron spin resonance spectroscopy
Electrospinning
Free radical reactions
Gamma rays
Glass transition
Irradiation
Liquefied gases
Magnetic moments
Olefins
Reaction kinetics
Spin dynamics
Sterilization (cleaning)
Cyclic Olefin Copolymers
Drug packaging
Electron-spin resonance
Free-radical reactions
Gamma-rays
Performance
Radiation sterilization
Reaction mechanism
Sterilization process
Thermoplastic polymer
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