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Schottky-type GaN-based UV photodetector with atomic-layer-deposited TiN thin film as electrodes
期刊论文
OPTICS LETTERS, 2022, 卷号: 47, 期号: 2, 页码: 429-432
作者:
Su, Longxing
;
Zhao, Lianqi
;
Chen, Sheng-Yu
;
Deng, Yingdong
;
Pu, Ruihua
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浏览/下载：272/1
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提交时间：2022/01/28
Chemical bonds
Crystal atomic structure
Gallium nitride
III-V semiconductors
Photodetectors
Photons
Tin
Titanium nitride
Transparent electrodes
Asymmetric electrodes
Atomic layer deposited
Atomic-layer deposition
Deposition cycles
Electrode structure
GaN based
Schottky
TiN layers
TiN thin films
UV photodetectors
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