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研究单元&专题
信息科学与技术学院 [1]
作者
卢致超 [1]
文献类型
期刊论文 [1]
发表日期
2023 [1]
出处
半导体光电 [1]
语种
中文 [1]
资助项目
资助机构
收录类别
北大核心 [1]
状态
正式接收 [1]
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液相外延碲镉汞中砷离子注入与激活表征研究
期刊论文
半导体光电, 2023, 卷号: 44, 期号: 4, 页码: 568-572
作者:
卢致超
;
林春
;
王溪
;
李珣
;
孙权志
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提交时间:2023/05/23
液相外延
碲镉汞
As离子注入
激活率
弱p型退火
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