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信息科学与技术学院 [2]
作者
吴涛 [2]
李昕欣 [1]
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王运豪 [1]
文献类型
会议论文 [1]
期刊论文 [1]
发表日期
2024 [1]
2022 [1]
出处
2022 IEEE ... [1]
MICROMACHI... [1]
语种
英语 [2]
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Piezoelectric Micromachined Ultrasonic Transducers with Micro-Hole Inter-Etch and Sealing Process on (111) Silicon Wafer
期刊论文
MICROMACHINES, 2024, 卷号: 15, 期号: 4
作者:
Wang, Yunhao
;
Wu, Sheng
;
Wang, Wenjing
;
Wu, Tao
;
Li, Xinxin
Adobe PDF(5053Kb)
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收藏
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浏览/下载：420/52
|
提交时间：2024/05/11
Aluminum nitride
Anisotropic etching
Anisotropy
Corrosion
Cost effectiveness
Diaphragms
Electrodes
Fabrication
III-V semiconductors
Natural frequencies
Piezoelectricity
Silicon wafers
Ultrasonic applications
(111) wafer
Anisotropic wet etching
Cavity structure
Micro holes
Micromachined ultrasound transducers
Piezoelectric
Piezoelectric micromachined ultrasound transducer array
The scar-free 'MIS' process
Three-fold symmetry
Ultrasound transducer arrays
PMUT Structure Design with a Scar-Free Minimally Invasive Surgery Process on (111) Silicon Wafer
会议论文
2022 IEEE INTERNATIONAL ULTRASONICS SYMPOSIUM (IEEE IUS), null,Venice,ITALY, OCT 10-13, 2022
作者:
Wu, Sheng
;
Li, Wei
;
Shao, Shuai
;
Yang, Heng
;
Wu, Tao
Adobe PDF(372Kb)
|
收藏
|
浏览/下载：520/4
|
提交时间：2023/02/10
PMUT array
the scar-free 'MIS' process
(111) wafer
anisotropic wet etching
three-fold symmetry
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