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High Figure-of-Merit Lamb Wave Resonators Based on Al0.7Sc0.3N Thin Film 期刊论文
IEEE ELECTRON DEVICE LETTERS, 2021, 卷号: 42, 期号: 9, 页码: 1378-1381
作者:  Shuai Shao;  Zhifang Luo;  Tao Wu
Adobe PDF(1892Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:495/2  |  提交时间:2021/09/10
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