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基于微纳加工工艺的寄生模态抑制与品质因子提升的压电环峰兰姆波谐振器及其制作方法 专利
申请号:CN202411769630.5，申请日期: 2025-04-04，类型:发明申请，状态:实质审查
发明人:  任豪;  卢宪正
Adobe PDF(1426Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：67/0  |  提交时间：2025/04/04
A Circular Crested Lamb Wave Resonator with Spurious Mode Suppression and Quality Factor Enhancement 预印本
2025
作者:  Lu, Xianzheng;  Lou, Liang;  Ren, Hao
收藏  |  浏览/下载：94/0  |  提交时间：2025/02/24
Micromachined piezoelectric Lamb wave resonators: a review 期刊论文
JOURNAL OF MICROMECHANICS AND MICROENGINEERING, 2023, 卷号: 33, 期号: 11
作者:  Lu, Xianzheng;  Ren, Hao
Adobe PDF(12252Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：380/3  |  提交时间：2023/10/16
A One-port Thermal-conductivity-compensated A0 Mode Al0.8Sc0.2N Lamb Wave Resonator Based on SOI Substrate 会议论文
2023 IEEE INTERNATIONAL ULTRASONICS SYMPOSIUM (IUS), Montreal, QC, Canada, 3-8 Sept. 2023
作者:  Lu, Xianzheng
Adobe PDF(1252Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：326/2  |  提交时间：2024/01/19
An One-port A2 Mode AlN Lamb Wave Resonator Based on SOI Substrate 会议论文
18TH INTERNATIONAL CONFERENCE ON NANO/MICRO ENGINEERED AND MOLECULAR SYSTEMS, NEMS 2023, Jeju, Korea, May 14, 2023 - May 17, 2023
作者:  Xianzheng Lu;  Hao Ren
Adobe PDF(549Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：386/0  |  提交时间：2023/09/08
An A(0) mode Lamb-wave AlN resonator on SOI substrate with vertically arranged double-electrodes 期刊论文
JOURNAL OF MICROMECHANICS AND MICROENGINEERING, 2022, 卷号: 32, 期号: 9
作者:  Cao, Haichao;  Lu, Xianzheng;  Ren, Hao
Adobe PDF(1568Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：392/0  |  提交时间：2022/08/15
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