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Computational Study of Organotin Oxide Systems for Extreme Ultraviolet Photoresist 期刊论文
JOURNAL OF PHYSICAL CHEMISTRY A, 2025, 卷号: 129, 期号: 5, 页码: 1420-1428
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Adobe PDF(3285Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:40/4  |  提交时间:2025/02/12
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