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Highly Doped Single Crystal Al $_{\text{1}-\textit{x}}$ Sc $_{\textit{x}}$ N Bulk Acoustic Resonators for High-Frequency and Wideband Applications 期刊论文
IEEE TRANSACTIONS ON ELECTRON DEVICES, 2024, 卷号: PP, 期号: 99, 页码: 6329-6335
作者:  Congquan Zhou;  Wentong Dou;  Ruidong Qin;  Jinghong Lu;  Yumeng Yang
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3.3 GHz BAW Resonators Fabricated on Single Crystal AlN Templates 会议论文
2023 IEEE INTERNATIONAL ULTRASONICS SYMPOSIUM (IUS), Montreal, QC, Canada, 3-8 Sept. 2023
作者:  Qin, Ruidong;  Zhou, Congquan;  Dou, Wentong;  Lu, Jinghong;  Yang, Yumeng
Adobe PDF(1684Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：209/1  |  提交时间：2024/01/19
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