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晶体锗掺硼的离子注入工艺与晶格损伤机理研究（英文） 期刊论文
红外与毫米波学报, 2024, 卷号: 43, 期号: 06, 页码: 749-754
作者:  HABIBAUmE;  陈天业;  刘赤县;  窦伟;  刘晓燕
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