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Efficient Bilevel Source Mask Optimization
会议论文
PROCEEDINGS - DESIGN AUTOMATION CONFERENCE, San Francisco, CA, United states, June 23, 2024 - June 27, 2024
作者:
Chen, Guojin
;
He, Hongquan
Adobe PDF(2933Kb)
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浏览/下载:188/28
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提交时间:2024/12/27
Advanced technology
Alternating optimizations
Bilevel
Mask optimization
Optimization method
Process window
Resolution enhancement technique
Runtimes
Sequential optimization
Technology nodes
Emergent topological states via digital (001) oxide superlattices (Vol 8, 208, 2022)
其他
NPJ COMPUTATIONAL MATERIALS, 2024-06-17, 卷号: 10, 期号: 1
作者:
Liu, Zhiwei
;
Liu, Hongquan
;
Ma, Jiaji
;
Wang, Xiaoxuan
;
Li, Gang
Adobe PDF(288Kb)
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浏览/下载:347/55
|
提交时间:2024/07/02
Efficient Bilevel Source Mask Optimization
预印本
2024
作者:
Chen, Guojin
;
He, Hongquan
;
Xu, Peng
;
Geng, Hao
;
Yu, Bei
Adobe PDF(2933Kb)
|
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浏览/下载:218/1
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提交时间:2024/06/17
Emergent topological states via digital (001) oxide superlattices
期刊论文
NPJ COMPUTATIONAL MATERIALS, 2022, 卷号: 8, 期号: 1
作者:
Liu, Zhiwei
;
Liu, Hongquan
;
Ma, Jiaji
;
Wang, Xiaoxuan
;
Li, Gang
Adobe PDF(2452Kb)
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浏览/下载:434/149
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提交时间:2022/10/18
APOBEC3 induces mutations during repair of CRISPR-Cas9-generated DNA breaks
期刊论文
NATURE STRUCTURAL & MOLECULAR BIOLOGY, 2018, 卷号: 25, 期号: 1, 页码: 45-52
作者:
Lei, Liqun
;
Chen, Hongquan
;
Xue, Wei
;
Yang, Bei
;
Hu, Bian
Adobe PDF(2943Kb)
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浏览/下载:728/4
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提交时间:2018/03/01
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