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High-precision X-ray characterization for basic materials in modern high-end integrated circuit 期刊论文
JOURNAL OF SEMICONDUCTORS, 2024
作者:  Zhao WR(赵蔚然);  Mo QQ(莫秋祺);  Zheng L(郑理);  Li ZL(李中亮);  Zhang XW(张小威)
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X-ray optics development and metrology at Shanghai synchrotron radiation facility 会议论文
INTERNATIONAL CONFERENCE ON OPTICAL AND PHOTONIC ENGINEERING (ICOPEN 2023)
作者:  Xue, Lian;  Si, Shangyu;  Zhang, Haipeng;  He, Yumei;  Tian, Naxi
Adobe PDF(1481Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：240/1  |  提交时间：2024/04/23
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