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极紫外掩模的同步辐射在波长高分辨成像仿真研究 期刊论文
核技术, 2025, 卷号: 48, 期号: 03, 页码: 45-55
作者:  苏子净;  刘海岗;  孟祥雨;  张祥志;  赵波
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Emulation of synchrotron radiation high-resolution actinic review for EUV mask 期刊论文
HE JISHU/NUCLEAR TECHNIQUES, 2025, 卷号: 48, 期号: 3, 页码: 43-53
作者:  Su, Zijing;  Liu, Haigang;  Meng, Xiangyu;  Zhang, Xiangzhi;  Zhao, Bo
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无权访问的条目 学位论文
作者:  苏子净
Adobe PDF(6387Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：30/0  |  提交时间：2024/06/24
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