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基于MEMS微镜的激光干涉直写设备曝光时间优化 期刊论文
激光与光电子学进展, 2023, 卷号: 61, 期号: 09, 页码: 307-313
作者:  余冠群;  吕柏莹;  许玥;  曾中明;  吴东岷
Adobe PDF(817Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：248/0  |  提交时间：2023/11/24
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