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Design of Piezoelectric Micromachined Ultrasonic Transducers using High-order Mode with High Performance and High Frequency 期刊论文
IEEE OPEN JOURNAL OF ULTRASONICS, FERROELECTRICS, AND FREQUENCY CONTROL, 2023, 卷号: PP, 期号: 99
作者:  Kangfu Liu;  Yaoqing Lu;  Sheng Wu;  Xinxin Li;  Tao Wu
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Nonlinearity of Piezoelectric Micromachined Ultrasonic Transducer Using AlN Thin Film 期刊论文
IEEE OPEN JOURNAL OF ULTRASONICS, FERROELECTRICS, AND FREQUENCY CONTROL, 2022, 卷号: 2
作者:  Zhifang Luo;  Junxiang Cai;  Songsong Zhang
Adobe PDF(1089Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：364/6  |  提交时间：2023/10/07
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