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信息科学与技术学院 [3]
物质科学与技术学院 [1]
作者
吴涛 [2]
李昕欣 [1]
包宇洋 [1]
文献类型
会议论文 [3]
发表日期
2018 [3]
出处
2018 IEEE ... [3]
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英语 [3]
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RESONANT-GRAVIMETRIC PARTICLE SENSORS WITH AIR-FILTERING CANTILEVER FABRICATED IN LOW-COST NON-SOI SILICON
会议论文
2018 IEEE MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS (MEMS), Belfast, United kingdom, 21-25 Jan. 2018
作者:
Bao, Yuyang
;
Cai, Shengran
;
Yu, Haitao
;
Xu, Tiegang
;
Xu, Pengcheng
Adobe PDF(823Kb)
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浏览/下载:550/1
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提交时间:2018/06/13
Low cost thin film encapsulation for AlN resonators
会议论文
2018 IEEE MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS (MEMS), Belfast, 21-25 Jan. 2018
作者:
Wu, Tao
;
Qian, Zhenyun
;
Rinaldi, Matteo
Adobe PDF(1124Kb)
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浏览/下载:708/12
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提交时间:2018/06/13
Aluminum Nitride
SU-8
Encapsulation
Single-chip multi-frequency wideband filters based on aluminum nitride cross-sectional Lamé mode resonators with thick and apodized electrodes
会议论文
2018 IEEE MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS (MEMS), Belfast, 21-25 Jan. 2018
作者:
Guofeng Chen
;
Cristian Cassella
;
Tao Wu
;
Matteo Rinaldi
Adobe PDF(708Kb)
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收藏
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浏览/下载:929/8
|
提交时间:2018/06/13
Resonator filters
Resonators
Aluminum nitride
III-V semiconductor materials
Electrodes
Matched filters
Acoustics
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