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半导体技术(1)
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CSCD(1)
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半导体技术(1)
发表日期
2018(1)
关键词云
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俞跃辉
合作成果数:1
张栋梁
合作成果数:1
沈玲燕
合作成果数:1
程新红
合作成果数:1
郑理
合作成果数:1
合作作者
俞跃辉
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张栋梁
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沈玲燕
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程新红
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郑理
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顾子悦
合作成果数:1
钱茹
硕士生
所在学院:
物质科学与技术学院
职务:
--
研究方向:
备注:
--
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[1]
钱茹,程新红,郑理,等. p-GaN在不同掩膜和刻蚀气体中的ICP刻蚀[J]. 半导体技术,2018,43(06):449-455.
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