一种样品原位加热装置及扫描电子显微镜
申请号CN202411271361.X
2024-12-20
公开(公告)号CN119170469A
公开日期2024-12-20
摘要本发明提供一种样品原位加热装置及扫描电子显微镜,样品原位加热装置,包括基座;加热件安装在基座上用于对样品进行加热;冷却件用于对基座进行冷却降温;置物板位于加热件的上部用于放置样品;反射件位于加热件的下部,用于将加热件的热量朝向置物板一侧反射。加热件位于基座的上部,加热件的下部设置了反射件,通过反射件将加热件发出的热量进行反射,使得传递到基座下部的热量降低,且同时通过冷却件对基座进行降温,通过两者的结合使得基座温度升高相对不明显,减少了基座向扫描电子显微镜内壁的热辐射。通过反射件进行反射热量还使得置物板的温度升高比较快且整个置物板受热比较均匀,从而样品温升比较均匀,温度升温响应快。
当前权利人上海科技大学
专利代理人张丽霖
代理机构上海汉之律师事务所 31378
专利申请人上海科技大学
公开国别中国
公开国别简称CN
IPC 分类号H01J37//20; H01J37//28; G01N23//2251; G01N23//2202; G01N23//2204; G01N1//44
专利有效性审中
专利类型发明申请
专利类型字典1
当前法律状态实质审查
简单同族CN119170469A
扩展同族CN119170469A
INPADOC 同族CN119170469A
文献类型专利
条目标识符https://kms.shanghaitech.edu.cn/handle/2MSLDSTB/458371
专题物质科学与技术学院_PI研究组_王竹君组
物质科学与技术学院_硕士生
作者单位
上海科技大学
推荐引用方式
GB/T 7714
王竹君,昂超. 一种样品原位加热装置及扫描电子显微镜. CN202411271361.X[P]. 2024-12-20.
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