上海科技大学知识管理系统

上海同步辐射光源（Shanghai Synchrotron Radiation Facility,SSRF）扫描透射X射线显微成像（Scanning Transmission X-ray Microscopy,STXM）实验站是国内首个自主研制的STXM实验系统，目前该系统波带片聚焦直接成像分辨率达到15 nm，扫描相干衍射成像方法成像的分辨率达到7.32 nm。系统振动是影响其成像质量的主要因素。本文针对波带片和样品之间系统振动进行详情分析，并提出相应的抑制策略，旨在提升STXM系统的成像质量。采用激光干涉仪和现场可编程门阵列（Field Programmable Gate Array,FPGA）技术，从软件层面开发了一种针对STXM中波带片和样品位置稳定性的闭环控制系统。该控制系统在最佳条件下可将STXM系统振动的均方根值（Root Mean Square,RMS）有效控制到4.833 nm，减少至原振动水平的约1/3，为STXM系统的成像质量进一步提升奠定了技术基础。