一种真空同轴显微镜及使用方法
申请号CN202410804361.5
2024-09-03
公开(公告)号CN118584640A
公开日期2024-09-03
摘要本发明公开了一种真空同轴显微镜,涉及显微镜领域。本发明包括真空机构,真空机构包括真空腔和样品台,样品台设置于真空腔中且用于放置样品。物镜、第一反射镜组件、透镜、第二反射镜组件、显微镜调节设备和成像设备均设置于真空腔中。真空机构侧壁上还设有X射线窗口,物镜中设有物镜开孔,第一反射镜组件中设有反射镜组件开孔。物镜设于样品台一侧,且与第一反射镜组件一侧连接,第一反射镜组件顶部与透镜底部连接,透镜顶部与第二反射镜组件底部连接,第二反射镜组件一侧与成像设备连接,显微镜调节设备与第一反射镜组件底部可连接。通过上述设置,本发明能够在真空环境下完成X射线与样品的同轴成像,实现了X射线与样品的共定位。
当前权利人上海科技大学
专利代理人许亦琳 ; 余明伟
代理机构上海光华专利事务所(普通合伙) 31219
专利申请人上海科技大学
公开国别中国
公开国别简称CN
IPC 分类号G02B21//00; G02B21//26; G02B21//24; G02B21//36; G02B7//198; G02B21//02; G03B17//55
专利有效性审中
专利类型发明申请
专利类型字典1
当前法律状态实质审查
简单同族CN118584640A
扩展同族CN118584640A
INPADOC 同族CN118584640A
文献类型专利
条目标识符https://kms.shanghaitech.edu.cn/handle/2MSLDSTB/415573
专题大科学中心_公共科研平台_大科学装置建设部
大科学中心_PI研究组_江怀东组
作者单位
上海科技大学
推荐引用方式
GB/T 7714
范家东,江怀东,佟亚军. 一种真空同轴显微镜及使用方法. CN202410804361.5[P]. 2024-09-03.
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