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一种真空同轴显微镜及使用方法 | |
申请号 | CN202410804361.5 |
2024-09-03 | |
公开(公告)号 | CN118584640A |
公开日期 | 2024-09-03 |
摘要 | 本发明公开了一种真空同轴显微镜,涉及显微镜领域。本发明包括真空机构,真空机构包括真空腔和样品台,样品台设置于真空腔中且用于放置样品。物镜、第一反射镜组件、透镜、第二反射镜组件、显微镜调节设备和成像设备均设置于真空腔中。真空机构侧壁上还设有X射线窗口,物镜中设有物镜开孔,第一反射镜组件中设有反射镜组件开孔。物镜设于样品台一侧,且与第一反射镜组件一侧连接,第一反射镜组件顶部与透镜底部连接,透镜顶部与第二反射镜组件底部连接,第二反射镜组件一侧与成像设备连接,显微镜调节设备与第一反射镜组件底部可连接。通过上述设置,本发明能够在真空环境下完成X射线与样品的同轴成像,实现了X射线与样品的共定位。 |
当前权利人 | 上海科技大学 |
专利代理人 | 许亦琳 ; 余明伟 |
代理机构 | 上海光华专利事务所(普通合伙) 31219 |
专利申请人 | 上海科技大学 |
公开国别 | 中国 |
公开国别简称 | CN |
IPC 分类号 | G02B21//00; G02B21//26; G02B21//24; G02B21//36; G02B7//198; G02B21//02; G03B17//55 |
专利有效性 | 审中 |
专利类型 | 发明申请 |
专利类型字典 | 1 |
当前法律状态 | 实质审查 |
简单同族 | CN118584640A |
扩展同族 | CN118584640A |
INPADOC 同族 | CN118584640A |
文献类型 | 专利 |
条目标识符 | https://kms.shanghaitech.edu.cn/handle/2MSLDSTB/415573 |
专题 | 大科学中心_公共科研平台_大科学装置建设部 大科学中心_PI研究组_江怀东组 |
作者单位 | 上海科技大学 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 范家东,江怀东,佟亚军. 一种真空同轴显微镜及使用方法. CN202410804361.5[P]. 2024-09-03. |
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文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 |
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