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ShanghaiTech University Knowledge Management System
| 一种精密显影涂布头 | |
| 申请号 | CN202322101459.8 |
| 2024-05-07 | |
| 公开（公告）号 | CN220900820U |
| 公开日期 | 2024-05-07 |
| 摘要 | 本实用新型提供一种精密显影涂布头，包括：挤压头上唇、挤压头下唇以及设于所述挤压头上唇和挤压头下唇之间的厚度可调节的垫片；所述挤压头下唇中设置有依次连通的、粗糙度逐级减小的凹槽，所述凹槽与挤压头上唇之间形成多级稳流通道，所述挤压头下唇包括唇口，所述唇口与挤压头上唇之间形成出料口，所述挤压头下唇上设有供料口，所述多级稳流通道连通出料口和供料口；所述挤压头上唇设有若干吹洗通道；本实用新型的精密显影涂布头可以精度控制低粘度显影液流量、涂布厚度，能够实现精密显影、增加显影均匀性、减少缺陷几率、提高图案精细化。 |
| 当前权利人 | 上海科技大学 |
| 专利代理人 | 许亦琳 ; 余明伟 |
| 代理机构 | 上海光华专利事务所(普通合伙) 31219 |
| 专利申请人 | 上海科技大学 |
| 公开国别 | 中国 |
| 公开国别简称 | CN |
| IPC 分类号 | B05C5//02; G03F7//30 |
| 专利有效性 | 有效 |
| 专利类型 | 实用新型 |
| 专利类型字典 | 2 |
| 当前法律状态 | 授权 |
| 简单同族 | CN220900820U |
| 扩展同族 | CN220900820U |
| INPADOC 同族 | CN220900820U |
| 文献类型 | 专利 |
| 条目标识符 | https://kms.shanghaitech.edu.cn/handle/2MSLDSTB/370073 |
| 专题 | 材料器件中心 物质科学与技术学院 物质科学与技术学院_特聘教授组_陆卫组 |
| 作者单位 | 上海科技大学 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 王镜喆,宋艳汝,彭鹏飞,等. 一种精密显影涂布头. CN202322101459.8[P]. 2024-05-07. |
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| 文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
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