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在太赫兹波段，高阻硅和蓝宝石因具备低吸收率、高电阻率和低光谱色散特性常被用作探测器衬底。然而，材料的高折射率特性会导致入射的大部分太赫兹波在界面反射，降低了波的透过率，也会引发法布里-珀罗谐振腔效应，从而限制太赫兹探测器的工作带宽和灵敏度。为了减少太赫兹波在界面的反射，本文提出了一种三层减反射结构。通过MATLAB中传输矩阵法 (TMM) 和电磁场仿真中时域有限差分法 (FDTD) 分析，最终选择Mylar/Al2O3/AlN作为太赫兹波段的减反射结构。仿真结果表明，该结构在275 ~ 405 GHz范围内反射率均低于-20 dB，当应用于太赫兹探测器时，340 GHz下-3 dB带宽提升了50 GHz以上，响应度提高了3.2倍。此外，该结构制备简单、成本较低，为太赫兹波段的宽带减反提供了经济有效的解决方法。