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本发明提供了一种硬X射线固体能量衰减器，包括：真空腔；衰减臂，包括设置在真空腔中的衰减端以及用于驱动衰减端在真空腔中运动的直线运动驱动机构；衰减端包括安装支架，安装支架上开有多个沿自身长度方向间隔分布的容纳槽，每个容纳槽顶部设有压片，用于固定放置在容纳槽中的衰减片；压片为中空结构，其截面呈一字型或凸字型；安装支架的侧面还可拆卸连接有侧板，两者之间设有用于对衰减片进行冷却的冷却管；衰减臂的数量为多个。本发明的有益之处在于：通过设置真空腔以及多个衰减臂，多个衰减臂上的多个衰减片相互组合，可以实现在10‑9Torr的超高真空环境下对3keV～15keV能量范围内的高能硬X射线进行10个量级的有效能量衰减。