上海科技大学知识管理系统

本发明提供一种重载精密型多维位姿调控系统，包括：搭载台；第一负载调节装置，第一负载调节装置包括第一底座、第一升降驱动机构、第一Z向升降台、第一Y向平移组件以及第一X向平移组件；第二负载调节装置，第二负载调节装置包括第二底座、第二升降驱动机构、第二Z向升降台、第二Y向平移组件、第二X向平移组件以及第二X向驱动机构；第三负载调节装置，第三负载调节装置包括第三底座、第三升降驱动机构、第三Z向升降台、第三X向平移组件、第三X向驱动机构、第三Y向平移组件以及第三Y向驱动机构。本发明能够对腔体系统沿X轴方向、沿Y轴方向、沿Z轴方向、绕X轴转动、绕Y轴转动以及绕Z轴转动进行精准调节。