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	TES用超导薄膜制备及特性研究
其他题名	Deposition and Characterization of Thin Films for Superconducting Transition Edge Sensor
	刘贤文1; 徐骁龙2; 李劲劲2; 王雪深2; 钟青2; 曹文会2; 白剑楠1; 张硕3; 刘想靓2; 司坤宇1; 周哲海1; 甘海勇2
	2021-02-28
发表期刊	计量学报
ISSN	1000-1158
卷号	42期号:2页码:184-188
发表状态	已发表
DOI	10.3969/j.issn.1000-1158.2021.02.09
摘要	超导转变边沿传感器(TES)是光强单位坎[德拉]量子化所需的单光子探测器,金属超导薄膜物理特性的研究是TES研究的基础.采用不同电源功率磁控溅射制备高纯Al、Ti超导纳米薄膜,分析其薄膜生长速率随气压和功率的变化.利用表面应力仪及电学测量仪,分析薄膜表面应力及电学特征.最后将薄膜放入商用稀释制冷机中,进行超低温测试,获得其超导特性.研究发现超导转变温度Tc以及转变沿宽度△T是影响TES能量分辨率以及时间常数的重要参数.实验结果将为TES器件的制备奠定基础.
关键词	计量学 超导薄膜 TES 单光子探测器
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收录类别	北大核心
语种	中文
原始文献类型	Periodical
来源库	WanFang
资助机构	北京信息科技大学实培计划 ; 中国计量科学研究院基本科研业务费专项
文献类型	期刊论文
条目标识符	https://kms.shanghaitech.edu.cn/handle/2MSLDSTB/256220
专题	大科学中心_公共科研平台_大科学装置建设部
作者单位	1.北京信息科技大学仪器科学与光电工程学院,北京100192; 2.中国计量科学研究院,北京100029; 3.上海科技大学,上海201210
推荐引用方式 GB/T 7714	刘贤文,徐骁龙,李劲劲,等. TES用超导薄膜制备及特性研究[J]. 计量学报,2021,42(2):184-188.
APA	刘贤文.,徐骁龙.,李劲劲.,王雪深.,钟青.,...&甘海勇.(2021).TES用超导薄膜制备及特性研究.计量学报,42(2),184-188.
MLA	刘贤文,et al."TES用超导薄膜制备及特性研究".计量学报 42.2(2021):184-188.

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文件名称/大小	文献类型	版本类型	开放类型	使用许可

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