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改性抛光剂对光学玻璃抛光质量的影响 | |
2017-09-13 | |
发表期刊 | 中国激光 |
ISSN | 11111 |
卷号 | 44期号:12页码:130-136 |
发表状态 | 已发表 |
摘要 | 为了抑制抛光粉纳米颗粒的团聚,改善抛光液的性能,使光学玻璃获得更高的抛光速率与更低的表面粗糙度,在氧化铈抛光液中添加阴离子表面活性剂梅迪兰,研究了梅迪兰质量分数对抛光液中粒子粒径、分散性以及材料去除率和抛光后光学玻璃表面粗糙度的影响。结果表明:微量梅迪兰能显著改善抛光液中粒子的分散性,抑制纳米粒子的团聚,提高抛光液的质量;当梅迪兰质量分数为0~0.32%时,随着质量分数增大,化学机械抛光速率先增大后减小,当质量分数为0.26%时达到最大值122nm/min;玻璃的表面粗糙度随着梅迪兰质量分数增加而先减小后增大,在质量分数为0.13%时达到最小值0.928nm。 |
关键词 | 材料 表面活性剂 化学机械抛光 光学玻璃 材料去除率 表面粗糙度 |
URL | 查看原文 |
收录类别 | EI ; CSCD ; 北大核心 |
语种 | 中文 |
原始文献类型 | 学术期刊 |
中图分类号 | TL632;TQ171.7 |
文献类型 | 期刊论文 |
条目标识符 | https://kms.shanghaitech.edu.cn/handle/2MSLDSTB/255565 |
专题 | 物质科学与技术学院 物质科学与技术学院_特聘教授组_朱健强组 物质科学与技术学院_硕士生 |
作者单位 | 1.中国科学院上海光学精密机械研究所高功率激光物理联合实验室; 2.中国科学院大学; 3.上海科技大学物质科学与技术学院 |
第一作者单位 | 物质科学与技术学院 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 梁尚娟,汤文龙,焦翔,等. 改性抛光剂对光学玻璃抛光质量的影响[J]. 中国激光,2017,44(12):130-136. |
APA | 梁尚娟,汤文龙,焦翔,&朱健强.(2017).改性抛光剂对光学玻璃抛光质量的影响.中国激光,44(12),130-136. |
MLA | 梁尚娟,et al."改性抛光剂对光学玻璃抛光质量的影响".中国激光 44.12(2017):130-136. |
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文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 |
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