改性抛光剂对光学玻璃抛光质量的影响
2017-09-13
发表期刊中国激光
ISSN11111
卷号44期号:12页码:130-136
发表状态已发表
摘要

为了抑制抛光粉纳米颗粒的团聚,改善抛光液的性能,使光学玻璃获得更高的抛光速率与更低的表面粗糙度,在氧化铈抛光液中添加阴离子表面活性剂梅迪兰,研究了梅迪兰质量分数对抛光液中粒子粒径、分散性以及材料去除率和抛光后光学玻璃表面粗糙度的影响。结果表明:微量梅迪兰能显著改善抛光液中粒子的分散性,抑制纳米粒子的团聚,提高抛光液的质量;当梅迪兰质量分数为0~0.32%时,随着质量分数增大,化学机械抛光速率先增大后减小,当质量分数为0.26%时达到最大值122nm/min;玻璃的表面粗糙度随着梅迪兰质量分数增加而先减小后增大,在质量分数为0.13%时达到最小值0.928nm。

关键词材料 表面活性剂 化学机械抛光 光学玻璃 材料去除率 表面粗糙度
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收录类别EI ; CSCD ; 北大核心
语种中文
原始文献类型学术期刊
中图分类号TL632;TQ171.7
文献类型期刊论文
条目标识符https://kms.shanghaitech.edu.cn/handle/2MSLDSTB/255565
专题物质科学与技术学院
物质科学与技术学院_特聘教授组_朱健强组
物质科学与技术学院_硕士生
作者单位
1.中国科学院上海光学精密机械研究所高功率激光物理联合实验室;
2.中国科学院大学;
3.上海科技大学物质科学与技术学院
第一作者单位物质科学与技术学院
推荐引用方式
GB/T 7714
梁尚娟,汤文龙,焦翔,等. 改性抛光剂对光学玻璃抛光质量的影响[J]. 中国激光,2017,44(12):130-136.
APA 梁尚娟,汤文龙,焦翔,&朱健强.(2017).改性抛光剂对光学玻璃抛光质量的影响.中国激光,44(12),130-136.
MLA 梁尚娟,et al."改性抛光剂对光学玻璃抛光质量的影响".中国激光 44.12(2017):130-136.
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