ShanghaiTech University Knowledge Management System
| 基于电子诱导脱附的气体解吸实验装置研究 | |
| 2019-03-25 | |
| 发表期刊 | 真空 |
| ISSN | none |
| 卷号 | 56期号:02页码:31-36 |
| 发表状态 | 已发表 |
| DOI | 10.13385/j.cnki.vacuum.2019.02.06 |
| 摘要 | 电子诱导脱附是指荷能电子轰击吸附了气体分子的材料表面,使得气体分子解吸出来的现象。在同步辐射光源、热阴极电离规和真空微电子器件等部件中,上述脱附气载是影响系统真空度和阴极寿命的主要因素。本文以日本光子工厂电子诱导脱附(KEK-ESD)装置试验数据为参考,研制了一台在150e V～1000e V电子能量范围内测量材料电子解吸系数的试验装置,并同KEK-ESD无氧铜材料试验数据进行了对比,证明本装置能有效测试材料表面的电子解吸系数。 |
| 关键词 | 同步辐射光源 电子诱导脱附 真空材料 |
| URL | 查看原文 |
| 收录类别 | 北大核心 |
| 语种 | 中文 |
| 原始文献类型 | 学术期刊 |
| 中图分类号 | TB75 |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | https://kms.shanghaitech.edu.cn/handle/2MSLDSTB/255370 |
| 专题 | 大科学中心_公共科研平台_大科学装置建设部 物质科学与技术学院 大科学中心 大科学中心_公共科研平台_变革性技术研发部 |
| 作者单位 | 上海科技大学物质科学与技术学院 |
| 第一作者单位 | 物质科学与技术学院 |
| 第一作者的第一单位 | 物质科学与技术学院 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 黄化岩,刘芳. 基于电子诱导脱附的气体解吸实验装置研究[J]. 真空,2019,56(02):31-36. |
| APA | 黄化岩,&刘芳.(2019).基于电子诱导脱附的气体解吸实验装置研究.真空,56(02),31-36. |
| MLA | 黄化岩,et al."基于电子诱导脱附的气体解吸实验装置研究".真空 56.02(2019):31-36. |
| 条目包含的文件 | ||||||
| 文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
| 个性服务 |
| 查看访问统计 |
| 谷歌学术 |
| 谷歌学术中相似的文章 |
| [黄化岩]的文章 |
| [刘芳]的文章 |
| 百度学术 |
| 百度学术中相似的文章 |
| [黄化岩]的文章 |
| [刘芳]的文章 |
| 必应学术 |
| 必应学术中相似的文章 |
| [黄化岩]的文章 |
| [刘芳]的文章 |
| 相关权益政策 |
| 暂无数据 |
| 收藏/分享 |
修改评论
除非特别说明，本系统中所有内容都受版权保护，并保留所有权利。