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| 一种单片晶圆显影装置 | |
| 申请号 | CN202221005563.6 |
| 2022-09-20 | |
| 公开（公告）号 | CN217467466U |
| 公开日期 | 2022-09-20 |
| 摘要 | 本实用新型涉及一种单片晶圆显影装置，包括显影框架和若干显影容器，所述显影框架用于装载晶圆，所述显影容器用于盛装显影液和显影停止液；所述显影框架包括晶圆支撑架，所述晶圆支撑架上方设有把手，所述把手的两端与所述晶圆支撑架的相对两侧可拆卸连接，所述晶圆支撑架上边缘设有可移动卡扣。本实用新型提供的单片晶圆显影装置结构简单、制造成本低，简单易操作，克服了微加工过程中的单片显影工艺手动显影过程中容易刮伤晶圆表面且无法准确控制显影时间的缺陷。 |
| 当前权利人 | 上海科技大学 |
| 专利代理人 | 石应杰 ; 许亦琳 |
| 代理机构 | 上海光华专利事务所(普通合伙) 31219 |
| 专利申请人 | 上海科技大学 |
| 公开国别 | CN |
| 公开国别简称 | CN |
| IPC 分类号 | G03F7//30 |
| 专利有效性 | 有效 |
| 专利类型 | 实用新型 |
| 专利类型字典 | 2 |
| 当前法律状态 | 授权 |
| 简单同族 | CN217467466U |
| 扩展同族 | CN217467466U |
| INPADOC 同族 | CN217467466U |
| 文献类型 | 专利 |
| 条目标识符 | https://kms.shanghaitech.edu.cn/handle/2MSLDSTB/229856 |
| 专题 | 物质科学与技术学院_特聘教授组_陆卫组 物质科学与技术学院 材料器件中心 |
| 作者单位 | 上海科技大学 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 彭鹏飞,宋艳汝,方维政,等. 一种单片晶圆显影装置. CN202221005563.6[P]. 2022-09-20. |
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