| 一种超高真空原位滴水装置 |
| 申请号 | CN202210349460.X
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| 2022-07-26
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| 公开（公告）号 | CN114791514A
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| 公开日期 | 2022-07-26
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| 摘要 | 本发明涉及超高真空设备技术领域，尤其涉及一种超高真空原位滴水装置，包括内部中空形成滴水腔的滴水腔体，滴水腔体上安装有用于向滴水腔内传入或传出样品的进样组件、于滴水腔内承托样品的样品台组件、用于对滴水腔进行抽真空的冷泵组件、用于向滴水腔内提供水气的水气路组件、于滴水腔内在冷头处将部分水气形成为水滴并滴向样品表面的控温冷头组件、用于检测控温冷头组件的冷头温度的热偶组件以及供操作者观察滴水腔内部情况的观察窗，进样组件、样品台组件、冷泵组件、水气路组件、控温冷头组件、热偶组件和观察窗均与滴水腔体密封配合连接。由控温冷头组件控制冷头温度，成本低廉、结构简单易加工。 |
| 当前权利人 | 上海科技大学
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| 专利代理人 | 李双娇
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| 代理机构 | 上海光华专利事务所(普通合伙) 31219
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| 专利申请人 | 上海科技大学
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| 公开国别 | 中国
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| 公开国别简称 | CN
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| IPC 分类号 | G01Q30//20; G01Q60//10
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| 专利有效性 | 审中
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| 专利类型 | 发明申请
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| 专利类型字典 | 1
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| 当前法律状态 | 实质审查
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| 简单同族 | CN114791514A
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| 扩展同族 | CN114791514A
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| INPADOC 同族 | CN114791514A
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| 文献类型 | 专利
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| 条目标识符 | https://kms.shanghaitech.edu.cn/handle/2MSLDSTB/206332
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| 专题 | 物质科学与技术学院_硕士生
物质科学与技术学院_PI研究组_赵爱迪组
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| 作者单位 | 上海科技大学
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推荐引用方式
GB/T 7714 |
韩钰,周琴,赵爱迪. 一种超高真空原位滴水装置. CN202210349460.X[P]. 2022-07-26.
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