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| 一种环境稳定的超高品质因子光学微腔及其制备方法 | |
| 翻译题名 | The invention discloses an environment-stable ultrahigh-quality factor optical microcavity and a preparation method thereof |
| 申请号 | CN202110703954.9 |
| 2021-06-24 | |
| 公开（公告）号 | CN113437640A |
| 公开日期 | 2021-09-24 |
| 摘要 | 本发明公开了一种环境稳定的超高品质因子光学微腔及其制备方法。本发明的环境稳定的超高品质因子光学微腔是通过化学气相沉积法在回音壁模式光学微腔表面沉积硅烷偶联剂层后得到，所述回音壁模式光学微腔的表面经过化学修饰从而形成不受环境影响的稳定结构。其中，硅烷偶联剂为疏水性硅烷偶联剂，硅烷偶联剂中的水解基团与微腔表面的羟基发生水解反应，硅烷分子被修饰到微腔表面，光学微腔表面形成疏水性化学键。本发明的光学微腔经测试，在相对湿度为35％和75％的环境中，经过两周时间，品质因子Q值仍能保持108以上。因此，本发明的光学微腔的品质因子具有良好的环境稳定性，具有广泛的应用前景。 |
| 翻译摘要 | The invention discloses an environment-stable ultrahigh-quality factor optical microcavity and a preparation method thereof. The environment-stable ultrahigh-quality factor optical microcavity is obtained by depositing a silane coupling agent layer on the surface of the echo wall mode optical microcavity through a chemical vapor deposition method, and the surface of the echo wall mode optical microcavity is chemically modified to form a stable structure which is not influenced by the environment. The silane coupling agent is a hydrophobic silane coupling agent, hydrolysis reaction occurs between hydrolysis groups in the silane coupling agent and hydroxyl groups on the surface of the microcavity, silane molecules are modified on the surface of the microcavity, and hydrophobic chemical bonds are formed on the surface of the optical microcavity. Tests show that the quality factor Q value of the optical microcavity can still be kept above 108 after two weeks in an environment with relative humidity of 35/% and 75/%. Therefore, the quality factor of the optical microcavity has good environmental stability and wide application prospect. |
| 当前权利人 | 上海科技大学 |
| 专利代理人 | 翁若莹 |
| 代理机构 | 上海申汇专利代理有限公司 31001 |
| 专利申请人 | 上海科技大学 |
| 公开国别 | 中国 |
| 公开国别简称 | CN |
| IPC 分类号 | H01S5//10; G02B5//00 |
| 专利有效性 | 失效 |
| 专利类型 | 发明申请 |
| 专利类型字典 | 1 |
| 当前法律状态 | 撤回 |
| 简单同族 | CN113437640A |
| 扩展同族 | CN113437640A |
| INPADOC 同族 | CN113437640A |
| 文献类型 | 专利 |
| 条目标识符 | https://kms.shanghaitech.edu.cn/handle/2MSLDSTB/128198 |
| 专题 | 物质科学与技术学院_PI研究组_沈晓钦组 物质科学与技术学院_硕士生 |
| 作者单位 | 上海科技大学 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 沈晓钦, 汪洋. 一种环境稳定的超高品质因子光学微腔及其制备方法. CN202110703954.9[P]. 2021-06-24. |
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