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一种基于宽带光源的反射扫描相干衍射显微成像装置及应用
翻译题名Reflection scanning coherent diffraction microimaging device based on broadband light source, and application
申请号CN202010154429.1
2020-03-07
公开(公告)号CN111290108A
公开日期2020-06-16
摘要本发明涉及一种基于宽带光源的反射扫描相干衍射显微成像装置及应用,属于显微成像技术领域;成像装置包括沿光束传播方向依次排列设有的宽波长展宽光源、探针光斑产生组件、反射样品台组件、中心挡板装置和信号收集与图像重建系统;本发明装置基于非相干的宽带光源的条件下,以反射与扫描相干衍射相结合的形式,可以实现对样品在入射光源所包含的不同波长模式下的表面结构模值信息、相位信息和光斑信息的重构,并能由此判断出样品对不同波长光的吸收情况;具有利用非相干光源应用于表面结构成像以及表面元素分析的广阔前景。
翻译摘要The invention relates to a reflection scanning coherent diffraction microimaging device based on a broadband light source, and an application, which belong to the technical field of microimaging. Thereflection scanning coherent diffraction microimaging device comprises a wide-wavelength broadening light source, a probe light spot generation assembly, a reflection sample table assembly, a center baffle device and a signal collection and image reconstruction system which are sequentially arranged in the light beam propagation direction. The reflection scanning coherent diffraction microimagingdevice can realize reconstruction of surface structure module value information, phase information and light spot information of a sample under different wavelength modes contained in an incident light source in a form of combining reflection and scanning coherent diffraction on the basis of a non-coherent broadband light source, can judge the absorption conditions of the sample on light with different wavelengths, and has a wide prospect of applying an incoherent light source to surface structure imaging and surface element analysis.
当前权利人上海科技大学
专利代理人徐俊
代理机构上海申汇专利代理有限公司 31001
专利申请人上海科技大学
公开国别中国
公开国别简称CN
IPC 分类号G02B21//06; G02B21//26; G02B21//36
CPC分类号G02B21//06; G02B21//26; G02B21//36; G02B21//362; G02B21//365
专利有效性有效
专利类型发明申请
专利类型字典1
当前法律状态授权
授权公告日2022-08-02
授权公开(公告)号CN111290108B
简单同族CN111290108A
扩展同族CN111290108A
INPADOC 同族CN111290108A
文献类型专利
条目标识符https://kms.shanghaitech.edu.cn/handle/2MSLDSTB/127157
专题大科学中心
硬x射线自由电子激光装置项目
物质科学与技术学院_硕士生
作者单位
上海科技大学
推荐引用方式
GB/T 7714
江怀东, 雷健, 张建华. 一种基于宽带光源的反射扫描相干衍射显微成像装置及应用. CN202010154429.1[P]. 2020-03-07.
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