用于液体检测的压电谐振微流道及制备方法

	用于液体检测的压电谐振微流道及制备方法
翻译题名	Piezoelectric resonance micro-channel for liquid detection and preparation method
申请号	CN202010586442.4
	2020-06-24
公开（公告）号	CN111669143A
公开日期	2020-09-15
摘要	本发明提供了一种用于液体检测的压电谐振微流道及制备方法，其特征在于，包括用于固定电极的有源压电层，有源压电层固定于硅衬底上，电极用于驱动谐振。在有源压电层上方有结构压电层，在两压电层间有利用牺牲层工艺形成空腔，有源压电层、空腔和结构压电层组合形成了谐振微流道结构。谐振微流道结构可以释放，形成悬浮结构，也可以不释放。工作时，液体被注入微流道结构中，谐振微流道结构的谐振频率由于充满液体而发生变化，不同液体的粘性阻尼不同，对谐振频率的影响程度也不同，与在空气环境中的本征谐振频率相比较，完成检测过程。
翻译摘要	The invention provides a piezoelectric resonance micro-channel for liquid detection and a preparation method, and is characterized in that the piezoelectric resonance micro-channel comprises an activepiezoelectric layer for fixing an electrode, the active piezoelectric layer is fixed on a silicon substrate, and the electrode is used for driving resonance; a structural piezoelectric layer is arranged above the active piezoelectric layer, a cavity is formed between the two piezoelectric layers by utilizing a sacrificial layer process, and the active piezoelectric layer, the cavity and the structural piezoelectric layer are combined to form a resonant micro-channel structure. The resonant micro-channel structure can be released to form a suspension structure, and can also be not released. During work, liquid is injected into the micro-channel structure, the resonant frequency of the resonant micro-channel structure is changed due to the fact that the resonant micro-channel structure is filled with the liquid, viscous damping of different liquid is different, the influence degree on the resonant frequency is different, and the detection process is completed by comparing the resonant frequency with the intrinsic resonant frequency in the air environment.
当前权利人	上海科技大学
专利代理人	徐俊
代理机构	上海申汇专利代理有限公司 31001
专利申请人	上海科技大学
	邵率; 罗智方; 吴涛
公开国别	中国
公开国别简称	CN
IPC 分类号	H03H9//17; H03H9//02; B01L3//00
CPC分类号	H03H9//17; H03H9//02535; B01L3//502707
专利有效性	有效
专利类型	发明申请
专利类型字典	1
当前法律状态	授权
授权公告日	2023-04-21
授权公开（公告）号	CN111669143B
简单同族	CN111669143A
扩展同族	CN111669143A
INPADOC 同族	CN111669143A
文献类型	专利
条目标识符	https://kms.shanghaitech.edu.cn/handle/2MSLDSTB/127116
专题	信息科学与技术学院_博士生信息科学与技术学院_PI研究组_吴涛组
作者单位	上海科技大学
推荐引用方式 GB/T 7714	邵率, 罗智方, 吴涛. 用于液体检测的压电谐振微流道及制备方法. CN202010586442.4[P]. 2020-06-24.

条目包含的文件
文件名称/大小	文献类型	版本类型	开放类型	使用许可
用于液体检测的压电谐振微流道及制备方法.（1229KB）	专利		限制开放	CC BY-NC-SA	请求全文